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      晶圆背面打标机
      产品说明：
      晶圆背面打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能，可进行晶圆背面打标，实现全自动晶圆上下料，设备具有完全自主知识产权。
      产品优势：
      1. 视觉：±10um，平台重复：±5um，整机精度：±50um；
      2. 单头效率超过普通双头甚至高出50%，同时兼容8,12inch Foup、Cassete；
      3. 配备晶圆整平机构，可对软晶圆打标，高精度硬件配置可应对晶圆翘曲 ≤12mm；
      4. 激光器：绿光激光器，风冷散热，模块化设计;
      绿光激光器
      风冷散热
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