J9九游会-真人游戏第一品牌

    ウェハ裏面マーキング装置
    製品説明:
    ウエハー裏面マーキング装置は、高精密モーションプラットフォームと完全クローズドループ数値制御システム、及び高解像度CCD画像位置決め技術とAOI検査機能を採用し、ウエハー裏面マーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、装置は完全に独立した知的財産権を有する。
    製品メリット:
    1.画像:±10um、プラットフォームリピート:±5um、マシン全体の精度:±50um;
    2.シングルヘッドの効率は、通常のダブルヘッドをさらに50%上回ると同時に、8,12inch Foup、Casseteと互換性がある;
    3.ウエハーの水平になるメカニズムが装備されていて、柔らかいウエハーにマーキングすることができ、高精度のハードウェア構成はウエファーのゆがみ(≤ 12mm)に対処できる;
    4.レーザー:グリーンレーザー、空冷放熱、モジュール化された設計。
    グリーンレーザー、空冷式冷却
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